填補國內(nèi)空白！鹽南企業(yè)這款國產(chǎn)設(shè)備賦能AR/VR產(chǎn)業(yè)
來源： 紫牛新聞
2026-07-10 11:26:00
近日，落戶鹽城鹽南高新區(qū)的智芯達(dá)真空設(shè)備（江蘇）有限公司， 再添重磅科創(chuàng)成果。企業(yè)自主研發(fā)的國產(chǎn)首套硅基顯IZO低溫低損傷磁控濺射設(shè)備，順利完成整機調(diào)試、驗收，正式交付下游硅基Micro OLED頭部產(chǎn)線使用。
這也是繼去年企業(yè)首臺巨量轉(zhuǎn)移側(cè)邊磁控濺射成膜機在鹽南成功下線后，在高端真空裝備領(lǐng)域取得的又一里程碑式突破，標(biāo)志著我國AR/VR核心硅基顯示鍍膜裝備徹底打破海外長期壟斷，實現(xiàn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)國產(chǎn)化自主可控。
硅基Micro OLED作為AR/VR微型顯示、高端車載近眼顯示設(shè)備的核心關(guān)鍵器件，對生產(chǎn)工藝要求極高。由于器件有機發(fā)光層熱敏性極強，傳統(tǒng)進口濺射設(shè)備作業(yè)溫度高、高能粒子轟擊強度大，極易損傷有機發(fā)光層，直接影響終端屏幕的發(fā)光效率、使用壽命與生產(chǎn)良率。本次智芯達(dá)下線的全新設(shè)備，依托自主核心專利技術(shù)，可將鍍膜基底溫度穩(wěn)定控制在40至60攝氏度的低溫區(qū)間，最大程度規(guī)避高能粒子對硅基晶圓有機膜層的沖擊損傷。設(shè)備搭配專屬對靶結(jié)構(gòu)設(shè)計，膜層均勻性誤差控制在±2%以內(nèi)，厚度精度達(dá)到納米級，整機核心工藝指標(biāo)全面對標(biāo)國際一線進口設(shè)備，在低溫防護、量產(chǎn)產(chǎn)能、良率管控等多項關(guān)鍵性能上，實現(xiàn)對進口設(shè)備的全面超越。
據(jù)智芯達(dá)副總經(jīng)理洪耀介紹，本次設(shè)備研發(fā)面臨極高的時間與技術(shù)雙重壓力，下游客戶要求四個月內(nèi)完成整機交付，而海外同規(guī)格設(shè)備的常規(guī)交付周期普遍長達(dá)十個月以上。為如期交付高品質(zhì)國產(chǎn)化裝備，研發(fā)團隊攻堅突破，針對性優(yōu)化設(shè)備結(jié)構(gòu)、定制專屬工藝方案，同步完成全流程核心零部件國產(chǎn)化替代，高效攻克了交付周期緊、工藝標(biāo)準(zhǔn)高、全套國產(chǎn)化落地三大難題。該設(shè)備的成功投用，填補了國內(nèi)硅基顯示專用濺射裝備的市場空白，為國內(nèi)近眼顯示產(chǎn)業(yè)鏈提供了高性價比、全國產(chǎn)化的工藝解決方案，有效降低企業(yè)設(shè)備采購、運維成本，持續(xù)加速國內(nèi)AR/VR、車載硅基顯示產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進程。
深耕高端真空鍍膜設(shè)備細(xì)分賽道，智芯達(dá)始終堅持技術(shù)迭代、持續(xù)拓寬產(chǎn)業(yè)應(yīng)用邊界。在成熟的小尺寸硅基IZO低溫低損鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)上，企業(yè)同步研發(fā)的大尺寸TCO低溫低損傷鍍膜設(shè)備，可有效解決大尺寸OLED顯示依賴高成本蒸鍍設(shè)備制作透明金屬陰極的行業(yè)痛點。與此同時，企業(yè)全新研發(fā)的半導(dǎo)體芯片電磁屏蔽鍍膜設(shè)備，能夠以鍍膜工藝替代傳統(tǒng)厚重金屬屏蔽罩，完美適配5G、6G通訊高密、高集成度場景的嚴(yán)苛屏蔽需求，目前已順利通過兩家海外終端企業(yè)及國內(nèi)半導(dǎo)體頭部客戶的測試驗證。
“企業(yè)深耕賽道的核心目標(biāo)，就是逐一攻克高端真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域長期被國外壟斷的‘卡脖子’技術(shù)難題?！焙橐硎?，公司第四款全新高端裝備已進入研發(fā)收尾階段，首臺樣機已完成組裝測試。該設(shè)備聚焦半導(dǎo)體TGV高深寬比磁控濺射鍍膜技術(shù)，可替代傳統(tǒng)TSV封裝互連工藝，未來將廣泛應(yīng)用于2.5D、3D先進芯片封裝核心場景，進一步補齊國內(nèi)先進封裝設(shè)備短板。
目前，智芯達(dá)已構(gòu)建起完全自主可控的知識產(chǎn)權(quán)體系，設(shè)備核心腔體、磁控陰極、真空傳動系統(tǒng)、智能電控單元等關(guān)鍵部件全部實現(xiàn)本土自研自產(chǎn)，累計斬獲國內(nèi)外授權(quán)專利60余項。智芯達(dá)總經(jīng)理吳哲鎬表示，企業(yè)將持續(xù)深耕高端真空裝備賽道，迭代優(yōu)化成熟產(chǎn)品，持續(xù)加大核心技術(shù)研發(fā)投入，推動多款自研濺射設(shè)備規(guī)?；慨a(chǎn)落地，以自主科創(chuàng)技術(shù)助力國內(nèi)新型顯示產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
此次國產(chǎn)首套硅基顯示核心鍍膜裝備成功落地，是鹽南高新區(qū)培育真空裝備新質(zhì)生產(chǎn)力、完善新型顯示配套產(chǎn)業(yè)鏈的標(biāo)志性成果。下一步，鹽南高新區(qū)將持續(xù)聚焦戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)賽道，從科創(chuàng)扶持、要素供給、載體配套等方面提供全鏈條保障，持續(xù)招引、培育優(yōu)質(zhì)科創(chuàng)主體，不斷壯大以智芯達(dá)為核心的高端裝備產(chǎn)業(yè)集群，以硬核科創(chuàng)突破持續(xù)激活區(qū)域新質(zhì)生產(chǎn)力，助推全區(qū)新興產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效、集群發(fā)展。
通訊員 布夢茹 李蘇衛(wèi)
揚子晚報/紫牛新聞見習(xí)記者 周珉
校對 吉啟雷