在半導(dǎo)體晶圓廠的潔凈室里
一輛輛承載著
價(jià)值千萬晶圓的磁驅(qū)“天車”
在空中軌道上輕盈穿梭
成為芯片誕生過程中獨(dú)特的風(fēng)景線
全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體專業(yè)展覽會(huì)SEMICON China即將召開,位于南京江寧開發(fā)區(qū)的專精特新“小巨人”企業(yè)——江蘇道達(dá)智能科技有限公司將放出“大招”:攜最新研發(fā)的第二代半導(dǎo)體磁驅(qū)天車“騰龍”亮相。公司董事長(zhǎng)孫俊杰透露,首臺(tái)套磁驅(qū)天車“騰龍”預(yù)計(jì)于今年6月份交付使用。
一片晶圓要在幾百臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備間流轉(zhuǎn)
經(jīng)過成百上千道工序
才會(huì)誕生數(shù)百顆指甲蓋大小的芯片
傳輸過程中
任何污染物或顛簸都可能導(dǎo)致晶圓損壞
從而影響芯片的產(chǎn)出率和質(zhì)量
自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)
就成為半導(dǎo)體制造工廠中
不可或缺的高科技物流系統(tǒng)
自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)通過快速精準(zhǔn)搬運(yùn)物料載體,突破了傳統(tǒng)人力搬運(yùn)在機(jī)臺(tái)間的效率瓶頸,而“天車”就是這套系統(tǒng)中的核心設(shè)備。
過去很長(zhǎng)一段時(shí)間里,半導(dǎo)體的天車市場(chǎng),大多采用國(guó)外的系統(tǒng)和技術(shù)?!爸挥邪押诵募夹g(shù)掌握在我們自己手上,才能真正為產(chǎn)業(yè)、為客戶更好地解決問題?!睂O俊杰對(duì)公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展有著清晰的認(rèn)識(shí)。
從2017年開始,道達(dá)就瞄準(zhǔn)天車控制系統(tǒng),從軟件入手,再到具體軌道的車輪磨損、滑軌材料、供電方式,進(jìn)行全部自研。幾年來,道達(dá)積累了大量的發(fā)明專利,成功開發(fā)出國(guó)產(chǎn)首套5.3米/秒高速天車系統(tǒng),打破了國(guó)外長(zhǎng)達(dá)20多年的壟斷,成為目前國(guó)內(nèi)唯一通過自研實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的天車系統(tǒng)廠商。
如今,公司在第一代旋轉(zhuǎn)伺服天車“麒麟”的基礎(chǔ)上,持續(xù)攻克技術(shù)難題,成功研制出磁驅(qū)天車“騰龍”,該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵零部件100%國(guó)產(chǎn)化。與第一代產(chǎn)品相比,“騰龍”采用了自主研發(fā)的磁懸浮無接觸驅(qū)動(dòng)技術(shù),運(yùn)輸過程中實(shí)現(xiàn)零磨損、零粉塵,從根本上解決潔凈度問題,同時(shí)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的精準(zhǔn)定位。
不僅如此,第二代產(chǎn)品還裝上了“最強(qiáng)大腦”——配備了自主研發(fā)的三層智能調(diào)度系統(tǒng),通過AI算法進(jìn)行預(yù)測(cè)行為和故障自愈,實(shí)現(xiàn)一個(gè)后臺(tái)管理千臺(tái)設(shè)備。
“經(jīng)過測(cè)試,‘騰龍’的直行速度已經(jīng)從一代產(chǎn)品的5.3米/秒提高到6米/秒,定位精度提升到±0.5毫米,振動(dòng)降至0.25g,這意味著新一代天車更快、更穩(wěn)、更精準(zhǔn)?!?nbsp;孫俊杰表示。
“當(dāng)初選擇將公司搬遷至江寧,很大程度上是看中了這里豐富的高校資源?!睂O俊杰說,企業(yè)高速發(fā)展的這幾年,道達(dá)與東南大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、河海大學(xué)等高校保持著緊密的合作。其中,2020年公司與東南大學(xué)共建了南京東道電子裝備研究院,就此展開了一系列“天車”核心技術(shù)的研究。2025年,道達(dá)還榮獲了國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)的稱號(hào)。
在道達(dá)公司大廳的墻壁上,清晰地展示著公司的發(fā)展歷程和未來規(guī)劃,“2026年,AMHS產(chǎn)品‘飛天’系列發(fā)布、開始半導(dǎo)體領(lǐng)域海外布局……”
打破壟斷、走向世界
這輛“車”的下一站
是更廣闊的全球賽道
創(chuàng)新南京的故事未完待續(xù)
內(nèi)容來源丨江寧發(fā)布